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                    NEXIV VMR-H3030系列

                    NEXIV VMR-H3030系列

                    產品詳情
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                    產品名稱:NEXIV VMR-H3030系列
                    產品類別:日本尼康精密光學測量
                    產品說明:

                    CNC視頻圖象坐標測量儀
                    NEXIV VMR-H3030系列

                    該設備具有極高的精度以及多種多樣的功能,XYZ行程為300×300×150毫米,不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測量,還可以作為精密檢測室的主檢測設備使用。 8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組,可以在各段(倍率)間進行自由切換,以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有極高的精度,加上其合理的布局以及堅固耐用的硬件設計,使 NEXIV VMR-H3030 的測量不確定度達到了亞微米級,可以滿足精密模具的檢測需求。

                    1、2、3 型

                    超高精度,適于用作精密檢測室的主檢測設備;

                    3個型號(1、2、3 型)各自有 5 級放大倍率,可滿足不同視場及倍率要求;

                    有多種多樣的照明方式可供選擇,以確保模具邊界準確探測的需求;

                    較長的工作距離(50毫米),可滿足測量對工件高度方向的空間需求;

                    高達15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場觀察搜索和高倍精密測量兩方面的需求。與無級變焦機構相比,采用5段、定倍自動變焦機構可以使測量更加快速、準確。

                    應用領域:
                    精密檢測室的主檢測設備,模具及精密機械零件測量。

                     

                    精密掩模板

                     

                    精密機械零件

                     

                    模具

                    Z120X 型(帶高倍頭)

                    具有超高精度的載物臺,與高倍頭配合使用,能夠準確測量工件的細微部位(如精密掩膜及芯片凸點高度等關鍵尺寸)光學放大倍數最高可達120X,能夠測量微距線寬;

                    高速、高精度的載物臺有助于對較大的物體尺寸,進行快速、準確地測量;

                    可以分別測量刻線的上下寬度;

                    激光自動掃描功能,可以用來測量芯片上的微小凸點高度以及錫球截面形狀等;

                    可以對激光掃描所得的截面輪廓形狀進行評估。

                    應用領域:
                    各種芯片級封裝、芯片上的凸點高度、各種精密掩膜板等。

                     

                    精密掩模板

                     

                    倒裝芯片上的凸點

                     

                    芯片凸點形貌色標顯示


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